Massenhaft Nanostrukturen
Optische Sensoren mit CMOS-TechnologieOptische Sensoren und Sensorsysteme sind aus vielen unterschiedlichen Anwendungsbereichen kaum noch wegzudenken, so zum Beispiel aus der industriellen Automatisierung, dem Automobilbereich, aber auch aus der Landwirtschaft und dem damit verbundenen Smart Farming. Vor diesem Hintergrund stellt sich die Frage, wie komplexe spektrale Sensoren im Zuge moderner Halbleiterprozesse und den dabei verwendeten Metallebenen in großer Stückzahl und kostengünstig hergestellt werden können.
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